RIE (reaktivní iontové leptání)

Odpovědět na inzerát

RIE - reaktivní iontové leptání

Princip + oblasti použití

Proces RIE (Reactive Ion Etching) je suchý leptací proces, který se používá především v elektronice a mikroelektronice k rychlému čištění nebo aktivaci povrchu, k vypalování fotorezistu nebo ke strukturování obvodů na polovodičových destičkách.

K tomuto účelu se obvykle používá tzv. planární deskový reaktor, jak je schematicky znázorněno na obrázku 1. Pokud se na elektrody přivede vysokofrekvenční střídavé napětí při podtlaku v rozmezí 10-2 až 10-1 mbar, zažehne se nízkotlaký plynový výboj (plazma). Vzhledem k rozdílné pohyblivosti nabitých částic plynu v plazmatu (těžké ionty, lehké elektrony) vzniká na menší elektrodě záporný potenciál, tzv. potenciál vlastního zkreslení. Ten se pohybuje v rozmezí několika 10 až několika 100 voltů.

Na substrátech (destičkách, deskách s plošnými spoji atd.), které leží na menší elektrodě, se nyní při použití správných procesních plynů projevují dva efekty:

Chemické odstranění povrchu substrátu nebo existujících nečistot reakcí s reaktivními částicemi z plazmatu (plazmové leptání)
Fyzikální odstranění přímým přenosem hybnosti iontů urychlených v elektrickém poli na povrch (leptání naprašováním)

Proces RIE kombinuje výhody obou efektů - vysokou selektivitu, vysokou rychlost leptání a anizotropní odstraňování.

Systémy

Na základě vysoké úrovně znalostí a rozsáhlých zkušeností v oblasti vysokofrekvenčních plazmových procesů vyvinula společnost AURION řadu systémů RIE, které se vyznačují především flexibilitou a velmi dobrým poměrem cena/výkon. Řada zahrnuje několik velikostí systémů pro širokou škálu substrátů, výkonů a rychlostí odstraňování. Díky vysoké možné kapacitě nakládky (až 25 destiček o Ø 150 mm nebo 20 destiček o Ø 200 mm) při malé ploše (max. 1,5 m² v čisté místnosti) lze u některých procesů dosáhnout propustnosti přes 100 000 destiček ročně, a to i přes absenci nákladného automatického manipulačního systému. Tento aspekt je velmi zajímavý nejen pro společnosti s malým investičním rozpočtem.

Odpovědět na inzerát

Kategorie
Nabízíme

Stát
Německo