Aurion Anlagentechnik GmbH

Plazma se používá k mnoha úkolům při povrchové úpravě, např. k nanášení povlaků, aktivaci polymerů, leptání mikroelektronických součástek a čištění. Pro čištění povrchů se v současné době používají rů...

Rozprašování obecně znamená vyvrhování atomů z pevného terče "bombardováním" urychlenými ionty plynu. Tato technika se často používá k depozici tenkých vrstev. Pro všechny elektricky vodivé látky exis...

Plazma se používá k mnoha úkolům při povrchové úpravě, např. k nanášení povlaků, aktivaci polymerů, leptání mikroelektronických součástek a čištění. Pro čištění povrchů se v současné době používají rů...

Plazma se používá k mnoha úkolům při povrchové úpravě, např. k nanášení povlaků, aktivaci polymerů, leptání mikroelektronických součástek a čištění. Pro čištění povrchů se v současné době používají rů...

Proces RIE (reaktivní iontové leptání) je suchý leptací proces používaný při výrobě elektroniky a mikroelektroniky. Uplatnění nachází například při rychlém a velmi kvalitním čištění povrchu, aktivaci...

Automatické impedanční přizpůsobovací sítě (řada PRODIK) pro výkonový rozsah 300 W až 30 kW, přepínače pro výkon až 60 kW, modulární matice, Power-Split pro současný provoz z jednoho zdroje, přenosová...

Plazma se používá k mnoha úkolům při povrchové úpravě, např. k nanášení povlaků, aktivaci polymerů, leptání mikroelektronických součástek a čištění. Pro čištění povrchů se v současné době používají rů...

Plazma se používá k mnoha úkolům při povrchové úpravě, např. k nanášení povlaků, aktivaci polymerů, leptání mikroelektronických součástek a čištění. Pro čištění povrchů se v současné době používají rů...

Rozprašování obecně znamená vyvrhování atomů z pevného terče "bombardováním" urychlenými ionty plynu. Tato technika se často používá k depozici tenkých vrstev. Pro všechny elektricky vodivé látky exis...

Společnost AURION nabízí vícekomorové systémy na míru s manipulací se substrátem ve vakuu. Dostupné konfigurace zahrnují uzavírací komory, přenosové komory a procesní moduly pro procesy naprašování...

Společnost Aurion vyvinula proces pro sterilizaci a bariérové potahování zejména dutých těles (např. PET lahví).

Kompaktní systémy, minimální plocha
- Vysoká hustota plazmatu pro krátk...

Automatické impedanční přizpůsobovací sítě (řada PRODIK) pro výkonový rozsah 300 W až 30 kW, přepínače pro výkon až 60 kW, modulární matice, Power-Split pro současný provoz z jednoho zdroje, přenosová...