Koncept KIVOS společnosti AURION Anlagentechnik GmbH

Koncept KIVOS

KIVOS je velmi flexibilní, modulární koncept pro plazmové systémy. Tyto systémy lze použít v široké škále aplikací, jako je jemné čištění a aktivace povrchů, leptání reaktivními ionty (RIE) a nanášení povlaků (PECVD, PVD). Tato koncepce umožňuje společnosti AURION vyrábět vysoce vyvinuté produkty za příznivé ceny. Z této cenové výhody těží naši zákazníci. Další výhodou je, že jeden systém lze použít pro velmi odlišné aplikace.

Základní myšlenkou této koncepce je, aby co nejvíce součástí systému bylo snadno zaměnitelných. To znamená jak vzájemně zaměnitelné, tak nahraditelné novými komponenty, například pro novou aplikaci.

Jak ukazuje nákres níže, základním prvkem procesní komory je rám z nerezové oceli ve tvaru krychle. K tomuto rámu je připevněno šest kovových desek (modulů), které plní různé funkce. Moduly jsou vyrobeny z nerezové oceli nebo hliníku v závislosti na aplikaci.

Vzhledem ke stejným rozměrům všech modulů (tvar krychle !!!) je možné je bez větší námahy vyměňovat mezi sebou nebo s jinými komponenty. To znamená, že pro mírně odlišnou aplikaci, která může vyžadovat pouze dvě nové příruby nebo jiná dvířka komory, není nutné pořizovat zcela novou procesní komoru. V některých případech dokonce stačí vyměnit dva nebo tři moduly navzájem.

Zákazník si navíc může vybrat mezi různými zdroji plazmatu (DC, MF, HF nebo MW), čerpadly atd. Konstrukce systému závisí pouze na aplikaci - vše je snadno modifikovatelné.

Společnost AURION v současné době nabízí tři standardní vakuové komory. Na vyžádání jsou však k dispozici i jiné velikosti.

Kompletní systém včetně vývěvy (vývěv), řídicí jednotky, generátoru atd. je namontován na rámu, který vyžaduje maximální plochu 1,5 m². Celková výška systému v podstatě závisí na velikosti komory. Pokud máte zájem o systém založený na této koncepci, neváhejte nás kontaktovat

Více novinek.

27.09.2023 01:00

Přehled našich systémů plazmové technologie

Společnost AURION Anlagentechnik GmbH nabízí kompletní systémová řešení pro úpravu a povrchovou úpra...