Aurion Anlagentechnik GmbH
Plazmové clusterové systémy od Aurion Anlagentechnik GmbH
Společnost AURION nabízí vícekomorové systémy na míru s manipulací se substrátem ve vakuu. Dostupné konfigurace zahrnují uzavírací komory, přenosové komory a procesní moduly pro procesy naprašování a RIE.