Dotaz na produkt
Plazma se používá k mnoha úkolům při povrchové úpravě, např. k nanášení povlaků, aktivaci polymerů, leptání mikroelektronických součástek a čištění. Pro čištění povrchů se v současné době používají různé metody generování plazmatu: Rádiové frekvence (40 kHz a 13,56 MHz) a mikrovlny. Typické směsi plynů obsahují kyslík, argon a někdy vodík a karbontetrafluorid.